激(ji)光(guang)具(ju)有高強度(du)(du)、高度(du)(du)方向性(xing)、空間同調性(xing)、窄帶寬和高度(du)(du)單色性(xing)等優點。目前常用來測量長度(du)(du)的(de)干涉儀,主要是(shi)以邁克爾遜干涉儀為(wei)(wei)主,并以穩頻(pin)氦(hai)氖(nai)激(ji)光(guang)為(wei)(wei)光(guang)源(yuan),構成一個具(ju)有干涉作用的(de)測量系統(tong)。激(ji)光(guang)干涉儀可配合各種折射(she)(she)鏡(jing)、反射(she)(she)鏡(jing)等來作線性(xing)位置、速度(du)(du)、角度(du)(du)、真(zhen)平(ping)度(du)(du)、真(zhen)直度(du)(du)、平(ping)行度(du)(du)和垂(chui)直度(du)(du)等測量工作,并可作為(wei)(wei)精密工具(ju)機(ji)或測量儀器的(de)校(xiao)正工作。
激光干涉儀主要特(te)點:
1. 同(tong)時測量(liang)線性定位誤(wu)差、直(zhi)線度誤(wu)差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾(gun)動角
2. 設計用于安裝在機床主軸(zhou)上(shang)的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙(yao)控傳感器長的控制(zhi)距離可到25米
4. 可測量速度、加(jia)速度、振動等參數,并評估機(ji)床(chuang)動態特性(xing)
5. 全套(tao)系統(tong)重量(liang)僅15公(gong)斤,設計緊(jin)湊、體積(ji)小,測量(liang)機(ji)床(chuang)時(shi)不需(xu)三角架(jia)
6. 集(ji)成干(gan)涉(she)鏡與(yu)激光器于一(yi)體,簡(jian)化了調整步驟(zou),減(jian)少(shao)了調整時間
7、激(ji)光(guang)干涉(she)儀可以同時測量(liang)線性定位誤差、直線度(du)誤差(雙軸(zhou))、偏擺角(jiao)、俯仰角(jiao)和滾動角(jiao)等,以及(ji)測量(liang)速度(du)、加速度(du)、振動等參數,并評(ping)估機床動態(tai)特性等。
8、激光(guang)干涉儀的(de)光(guang)源——激光(guang),具(ju)有(you)高(gao)強度(du)、高(gao)度(du)方向性、空間同調性、窄帶寬和高(gao)度(du)單(dan)色性等優點。
9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。廣西計量檢測
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