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長度精密檢測工具之激光干涉儀的分類

2021-08-12 14:46:44

激光干(gan)涉(she)儀(yi),以激光波長為已(yi)知長度,利用邁克耳遜干(gan)涉(she)系統測(ce)量位移的通用長度測(ce)量。

激(ji)光(guang)(guang)具有高強度(du)(du)、高度(du)(du)方向性(xing)(xing)、空(kong)間同調性(xing)(xing)、窄帶寬和(he)高度(du)(du)單色性(xing)(xing)等(deng)優點。目前常用(yong)來測(ce)量(liang)長度(du)(du)的干(gan)(gan)涉儀,主要是以(yi)邁克(ke)爾遜干(gan)(gan)涉儀為(wei)(wei)主,并以(yi)穩頻(pin)氦(hai)氖激(ji)光(guang)(guang)為(wei)(wei)光(guang)(guang)源,構成一個具有干(gan)(gan)涉作(zuo)(zuo)用(yong)的測(ce)量(liang)系(xi)統。激(ji)光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉儀可配合各種折(zhe)射鏡、反射鏡等(deng)來作(zuo)(zuo)線性(xing)(xing)位置、速度(du)(du)、角度(du)(du)、真(zhen)平(ping)度(du)(du)、真(zhen)直度(du)(du)、平(ping)行度(du)(du)和(he)垂直度(du)(du)等(deng)測(ce)量(liang)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo),并可作(zuo)(zuo)為(wei)(wei)精密工(gong)(gong)具機或測(ce)量(liang)儀器的校正(zheng)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)。

激光干涉儀有單頻(pin)的和雙(shuang)頻(pin)的兩種。

單頻激(ji)光干涉儀

從(cong)激(ji)(ji)光(guang)器(qi)發出(chu)的光(guang)束(shu),經擴束(shu)準(zhun)直(zhi)后由(you)分(fen)光(guang)鏡(jing)分(fen)為兩路,并分(fen)別(bie)從(cong)固定反(fan)(fan)射鏡(jing)和可動(dong)(dong)反(fan)(fan)射鏡(jing)反(fan)(fan)射回來會合在分(fen)光(guang)鏡(jing)上而產生干(gan)(gan)涉(she)條紋。當可動(dong)(dong)反(fan)(fan)射鏡(jing)移(yi)動(dong)(dong)時,干(gan)(gan)涉(she)條紋的光(guang)強變(bian)化(hua)由(you)接受器(qi)中(zhong)的光(guang)電轉換元件(jian)和電子(zi)線路等轉換為電脈沖(chong)(chong)信(xin)號(hao),經整形、放大(da)后輸入可逆計數器(qi)計算出(chu)總脈沖(chong)(chong)數,再由(you)電子(zi)計算機(ji)按計算式(shi)[356-11]式(shi)中(zhong)λ為 激(ji)(ji)光(guang)波長(N 為電脈沖(chong)(chong)總數),算出(chu)可動(dong)(dong)反(fan)(fan)射鏡(jing)的位移(yi)量L。使用單(dan)頻激(ji)(ji)光(guang)干(gan)(gan)涉(she)儀時,要求(qiu)周(zhou)圍大(da)氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引(yin)起直(zhi)流電平變(bian)化(hua)而影響測量結果。

雙頻激(ji)光(guang)干涉儀

在(zai)氦(hai)氖激(ji)光(guang)(guang)器(qi)上(shang)(shang),加上(shang)(shang)一(yi)(yi)個(ge)約0.03特斯拉的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)軸(zhou)向磁場。由(you)于塞曼分裂效(xiao)應(ying)和(he)(he)頻(pin)(pin)(pin)率(lv)(lv)牽引效(xiao)應(ying), 激(ji)光(guang)(guang)器(qi)產生1和(he)(he)2兩(liang)個(ge)不同(tong)頻(pin)(pin)(pin)率(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)左旋和(he)(he)右旋圓偏(pian)振(zhen)(zhen)光(guang)(guang)。經1/4波(bo)片后(hou)(hou)成(cheng)為(wei)(wei)(wei)(wei)兩(liang)個(ge)互相垂(chui)直(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)線(xian)偏(pian)振(zhen)(zhen)光(guang)(guang),再經分光(guang)(guang)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)分為(wei)(wei)(wei)(wei)兩(liang)路(lu)。一(yi)(yi)路(lu)經偏(pian)振(zhen)(zhen)片1后(hou)(hou)成(cheng)為(wei)(wei)(wei)(wei)含(han)(han)有(you)頻(pin)(pin)(pin)率(lv)(lv)為(wei)(wei)(wei)(wei)f1-f2的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)參(can)考光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)。另(ling)一(yi)(yi)路(lu)經偏(pian)振(zhen)(zhen)分光(guang)(guang)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)后(hou)(hou)又分為(wei)(wei)(wei)(wei)兩(liang)路(lu):一(yi)(yi)路(lu)成(cheng)為(wei)(wei)(wei)(wei)僅(jin)含(han)(han)有(you)f1的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu),另(ling)一(yi)(yi)路(lu)成(cheng)為(wei)(wei)(wei)(wei)僅(jin)含(han)(han)有(you)f2的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)。當可(ke)(ke)(ke)動反(fan)射(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)移動時,含(han)(han)有(you)f2的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)經可(ke)(ke)(ke)動反(fan)射(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)反(fan)射(she)后(hou)(hou)成(cheng)為(wei)(wei)(wei)(wei)含(han)(han)有(you)f2 ±Δf的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu),Δf是(shi)可(ke)(ke)(ke)動反(fan)射(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)移動時因(yin)多普勒效(xiao)應(ying)產生的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)附(fu)加頻(pin)(pin)(pin)率(lv)(lv),正(zheng)負號(hao)表示移動方(fang)向(多普勒效(xiao)應(ying)是(shi)奧地利人C.J.多普勒提出的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de),即波(bo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)頻(pin)(pin)(pin)率(lv)(lv)在(zai)波(bo)源或接受器(qi)運動時會產生變(bian)化(hua))。這(zhe)(zhe)路(lu)光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)和(he)(he)由(you)固定(ding)反(fan)射(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)反(fan)射(she)回來(lai)(lai)僅(jin)含(han)(han)有(you)f1的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)經偏(pian)振(zhen)(zhen)片2后(hou)(hou)會合成(cheng)為(wei)(wei)(wei)(wei)f1-(f2±Δf)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)測量(liang)光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)。測量(liang)光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)和(he)(he)上(shang)(shang)述參(can)考光(guang)(guang)束(shu)(shu)(shu)(shu)經各自的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)電(dian)轉換元(yuan)件、放(fang)大器(qi)、整形器(qi)后(hou)(hou)進(jin)(jin)入減(jian)法器(qi)相減(jian),輸出成(cheng)為(wei)(wei)(wei)(wei)僅(jin)含(han)(han)有(you)±Δf的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)脈沖信號(hao)。經可(ke)(ke)(ke)逆計數器(qi)計數后(hou)(hou),由(you)電(dian)子(zi)計算機(ji)進(jin)(jin)行(xing)當量(liang)換算(乘(cheng) 1/2激(ji)光(guang)(guang)波(bo)長)后(hou)(hou)即可(ke)(ke)(ke)得(de)出可(ke)(ke)(ke)動反(fan)射(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)移量(liang)。雙頻(pin)(pin)(pin)激(ji)光(guang)(guang)干涉儀是(shi)應(ying)用頻(pin)(pin)(pin)率(lv)(lv)變(bian)化(hua)來(lai)(lai)測量(liang)位(wei)移的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de),這(zhe)(zhe)種(zhong)位(wei)移信息載于f1和(he)(he)f2的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)頻(pin)(pin)(pin)差上(shang)(shang),對(dui)由(you)光(guang)(guang)強(qiang)變(bian)化(hua)引起的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)直(zhi)(zhi)流電(dian)平變(bian)化(hua)不敏感,所(suo)以抗干擾能力強(qiang)。它常(chang)用于檢定(ding)測長機(ji)、三坐標(biao)(biao)測量(liang)機(ji)、光(guang)(guang)刻機(ji)和(he)(he)加工中心等(deng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)坐標(biao)(biao)精度,也(ye)可(ke)(ke)(ke)用作測長機(ji)、高(gao)精度三坐標(biao)(biao)測量(liang)機(ji)等(deng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)測量(liang)系統。利用相應(ying)附(fu)件,還可(ke)(ke)(ke)進(jin)(jin)行(xing)高(gao)精度直(zhi)(zhi)線(xian)度測量(liang)、平面度測量(liang)和(he)(he)小角度測量(liang)。

長度精密檢測

廣西桂景計量檢測有限公司的前身,始建于柳州科路測量儀器研究所的計量檢測室。憑借著二十多年服務鐵路和其他企業的技術實力和經驗,桂景計量迅速成長為業內佼佼者,在鐵路計量檢測行業獲得了廣泛的認可并享有很高的聲譽。

為更(geng)好的(de)開展業務(wu),2015年桂(gui)景(jing)(jing)計(ji)量(liang)(liang)完成(cheng)獨立法人注(zhu)冊,成(cheng)立了第(di)三(san)方計(ji)量(liang)(liang)檢(jian)測(ce)公司(si),總投資1000多萬元。作為國(guo)內一(yi)家(jia)主要(yao)從事鐵路(lu)(lu)專(zhuan)用(yong)(yong)計(ji)量(liang)(liang)檢(jian)測(ce)服(fu)務(wu)的(de)民(min)營企業,廣西桂(gui)景(jing)(jing)計(ji)量(liang)(liang)檢(jian)測(ce)有限公司(si)是集計(ji)量(liang)(liang)檢(jian)測(ce)、校準、維修調試(shi)、技術(shu)咨詢、職業培(pei)訓等計(ji)量(liang)(liang)服(fu)務(wu)為一(yi)體的(de)綜(zong)合(he)性第(di)三(san)方計(ji)量(liang)(liang)檢(jian)測(ce)機構。公司(si)擁有一(yi)批以專(zhuan)家(jia)和(he)骨干為核(he)心(xin)的(de)專(zhuan)業技術(shu)隊(dui)伍,現有員工(gong)(gong)40余人,其(qi)中,享受國(guo)務(wu)院政府津貼專(zhuan)家(jia)2名,教授級高(gao)(gao)級工(gong)(gong)程(cheng)師1名,高(gao)(gao)級工(gong)(gong)程(cheng)師3名。2017年桂(gui)景(jing)(jing)公司(si)獲得中國(guo)合(he)格(ge)評定國(guo)家(jia)認可(ke)委員會(CNAS)國(guo)家(jia)實(shi)驗室的(de)認可(ke)資格(ge),2018年被認定為國(guo)家(jia)高(gao)(gao)新技術(shu)企業,并(bing)在(zai)2019年通(tong)過了 “廣西桂(gui)景(jing)(jing)全國(guo)鐵路(lu)(lu)計(ji)量(liang)(liang)檢(jian)測(ce)公共服(fu)務(wu)平臺”的(de)驗收。2020年公司(si)取得了自治區市(shi)場監管局授權的(de)“檢(jian)驗檢(jian)測(ce)機構資質認定證書”。公司(si)還擁有企業最 高(gao)(gao)標準46項,發明zhuanli1項,實(shi)用(yong)(yong)新型zhuanli7項,軟件著作權2項。

多年來,除堅守在鐵(tie)路(lu)裝備專(zhuan)用計量檢(jian)測(ce)(ce)行業獨特優勢外,桂景(jing)還擁(yong)有長度(du)、力學、熱(re)學、化學、醫(yi)療、電學及(ji)傳感器(qi)等(deng)檢(jian)測(ce)(ce)實力,擁(yong)有包(bao)括三坐標測(ce)(ce)量機、一米(mi)萬(wan) 能工具(ju)顯微(wei)鏡、五米(mi)光柵測(ce)(ce)長機、成套鐵(tie)專(zhuan)計量器(qi)具(ju)標準器(qi)等(deng)近千臺(套)測(ce)(ce)量設備,為鐵(tie)路(lu)運輸(shu)、軌道交通(tong)、建筑工程、市政道路(lu)、醫(yi)療器(qi)械、食品化學、汽車(che)制(zhi)造等(deng)行業提供優質的(de)服務、優良可靠的(de)技術保障和質量控制(zhi)方案。

桂(gui)景計量(liang)為(wei)順應鐵(tie)路(lu)計量(liang)改革發(fa)展,不(bu)斷突破自我、發(fa)展壯(zhuang)大(da)。2019年11月,桂(gui)景計量(liang)與中國鐵(tie)路(lu)廣(guang)州(zhou)局集團有(you)(you)限公(gong)司全資子公(gong)司廣(guang)州(zhou)鐵(tie)路(lu)科技開發(fa)有(you)(you)限公(gong)司簽訂了(le)檢(jian)測技術(shu)戰略合(he)作協議;2020年4月,桂(gui)景計量(liang)廣(guang)州(zhou)鐵(tie)路(lu)科技開發(fa)有(you)(you)限公(gong)司長沙計量(liang)分公(gong)司為(wei)基地(di),建立(li)桂(gui)景長沙計量(liang)檢(jian)測站,派駐(zhu)強大(da)的(de)技術(shu)團隊,配置(zhi)新設備,專門承擔(dan)廣(guang)州(zhou)鐵(tie)路(lu)局管轄區內的(de)計量(liang)委外檢(jian)測業務(wu)。

桂(gui)景計(ji)量(liang)(liang)始(shi)終持(chi)(chi)續秉(bing)承“科學公(gong)正,準(zhun)確高效,持(chi)(chi)續發(fa)展(zhan),客戶(hu)滿意”的理念(nian),堅持(chi)(chi)“科學、公(gong)正、準(zhun)確、高效”的質量(liang)(liang)方針,為客戶(hu)提(ti)供更專(zhuan)業(ye)(ye)、便捷、優(you)質的技術服務,將桂(gui)景公(gong)司打造(zao)成全國鐵路(lu)裝備專(zhuan)用(yong)計(ji)量(liang)(liang)檢測行業(ye)(ye)第三方檢測機構的行業(ye)(ye)標桿,為企業(ye)(ye)技術創新,提(ti)升產品質量(liang)(liang),推動產業(ye)(ye)轉(zhuan)型(xing)升級和(he)高質量(liang)(liang)發(fa)展(zhan)提(ti)供可靠路(lu)徑。

長度精密檢測

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