激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩(liang)種。

從(cong)激光(guang)器發出的光(guang)束，經(jing)擴束準直后由(you)分光(guang)鏡分為兩路，并分別從(cong)固定反(fan)(fan)射(she)鏡和可(ke)動(dong)反(fan)(fan)射(she)鏡反(fan)(fan)射(she)回來(lai)會(hui)(hui)合在分光(guang)鏡上而產生干涉條紋。當可(ke)動(dong)反(fan)(fan)射(she)鏡移(yi)動(dong)時，干涉條紋的光(guang)強變(bian)化(hua)由(you)接受器中(zhong)(zhong)的光(guang)電轉(zhuan)換(huan)元(yuan)件和電子(zi)線(xian)路等轉(zhuan)換(huan)為電脈(mo)沖信號，經(jing)整形、放大后輸入(ru)可(ke)逆計數(shu)器計算(suan)出總脈(mo)沖數(shu)，再(zai)由(you)電子(zi)計算(suan)機按計算(suan)式(shi)[356-11]式(shi)中(zhong)(zhong)λ為 激光(guang)波長(N 為電脈(mo)沖總數(shu))，算(suan)出可(ke)動(dong)反(fan)(fan)射(she)鏡的位移(yi)量L。使用單頻(pin)激光(guang)干涉儀時，要求周圍大氣(qi)處于穩定狀態，各種空(kong)氣(qi)湍流都會(hui)(hui)引起直流電平變(bian)化(hua)而影(ying)響測(ce)量結(jie)果。

在氦氖激光(guang)(guang)器上(shang)，加上(shang)一(yi)個(ge)約0.03特斯拉(la)的(de)(de)軸(zhou)向(xiang)磁場(chang)。由(you)于塞曼(man)分裂效應(ying)(ying)和(he)(he)頻(pin)率牽引效應(ying)(ying), 激光(guang)(guang)器產生(sheng)1和(he)(he)2兩(liang)(liang)個(ge)不同頻(pin)率的(de)(de)左旋和(he)(he)右旋圓偏振(zhen)(zhen)光(guang)(guang)。經(jing)(jing)1/4波片后成(cheng)為(wei)(wei)兩(liang)(liang)個(ge)互相垂直的(de)(de)線偏振(zhen)(zhen)光(guang)(guang),再經(jing)(jing)分光(guang)(guang)鏡(jing)分為(wei)(wei)兩(liang)(liang)路(lu)。一(yi)路(lu)經(jing)(jing)偏振(zhen)(zhen)片1后成(cheng)為(wei)(wei)含(han)有頻(pin)率為(wei)(wei)f1-f2的(de)(de)參考光(guang)(guang)束(shu)(shu)。另一(yi)路(lu)經(jing)(jing)偏振(zhen)(zhen)分光(guang)(guang)鏡(jing)后又分為(wei)(wei)兩(liang)(liang)路(lu)：一(yi)路(lu)成(cheng)為(wei)(wei)僅含(han)有f1的(de)(de)光(guang)(guang)束(shu)(shu),另一(yi)路(lu)成(cheng)為(wei)(wei)僅含(han)有f2的(de)(de)光(guang)(guang)束(shu)(shu)。當(dang)可(ke)動(dong)反射鏡(jing)移動(dong)時(shi),含(han)有f2的(de)(de)光(guang)(guang)束(shu)(shu)經(jing)(jing)可(ke)動(dong)反射鏡(jing)反射后成(cheng)為(wei)(wei)含(han)有f2 ±Δf的(de)(de)光(guang)(guang)束(shu)(shu)，Δf是(shi)可(ke)動(dong)反射鏡(jing)移動(dong)時(shi)因多普(pu)勒(le)(le)效應(ying)(ying)產生(sheng)的(de)(de)附加頻(pin)率,正(zheng)負號表示移動(dong)方向(xiang)(多普(pu)勒(le)(le)效應(ying)(ying)是(shi)奧(ao)地(di)利人C.J.多普(pu)勒(le)(le)提出的(de)(de)，即(ji)波的(de)(de)頻(pin)率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。測量光束和上述參考光束經各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。經可逆計數器計數后，由電子計算機進行當量換算（乘 1/2激光波長）后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。鐵路計量檢測

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