照明系統發出單色激光1，經反射鏡2、聚光鏡、光闌4射入儀器內的半透半反鏡5，經準直物鏡12折射成平行光，然后射出。朝向標準平面晶體13和檢查平面晶體。從晶體14、標準平面晶體13和被檢查平面晶體14反射的光重疊形成相干光束。長度精密檢測
相干光(guang)束通過(guo)(guo)半(ban)透半(ban)反(fan)鏡(jing)5、反(fan)光(guang)鏡(jing)6、轉向(xiang)鏡(jing)組(zu)7和入(ru)射光(guang)闌8反(fan)射回來，通過(guo)(guo)觀察(cha)物鏡(jing)9成像在測(ce)微目(mu)鏡(jing)的(de)分劃(hua)板10上，可以得到通過(guo)(guo)目(mu)鏡(jing)組(zu) 11. 觀察(cha)干涉(she)條紋(wen)，測(ce)量干涉(she)條紋(wen)的(de)彎曲度(du)，校(xiao)準測(ce)量干涉(she)條紋(wen)的(de)間(jian)距。
激光平(ping)面干涉儀(yi)測量檢(jian)測的工作原理(li)
當一(yi)束(shu)給定(ding)波的(de)(de)單(dan)色(se)平行光(guang)照射在由兩個(ge)(ge)平面形成的(de)(de)具(ju)有(you)小楔(xie)角z的(de)(de)空氣楔(xie)上時，兩個(ge)(ge)平面分別反射的(de)(de)兩束(shu)相(xiang)(xiang)干(gan)光(guang)在交匯點(dian)處具(ju)有(you)一(yi)定(ding)的(de)(de)光(guang)程(cheng)差, 這個(ge)(ge)光(guang)程(cheng)差△只與(yu)氣隙的(de)(de)厚度有(you)關。在厚度相(xiang)(xiang)同(tong)(tong)(tong)的(de)(de)情況下，兩個(ge)(ge)反射光(guang)束(shu)的(de)(de)光(guang)程(cheng)差相(xiang)(xiang)同(tong)(tong)(tong)。因此，相(xiang)(xiang)同(tong)(tong)(tong)的(de)(de)干(gan)涉條紋出現在氣隙厚度相(xiang)(xiang)同(tong)(tong)(tong)的(de)(de)地方。反射光(guang)被稱為“等厚干(gan)涉原理(li)”。
外校準儀等厚(hou)干涉條(tiao)紋的形狀是由氣(qi)隙厚(hou)度相同的軌跡(ji)決定的。
因此，平面度是根據干涉條紋的形狀來確定的。廣西計量檢測
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