激光干涉儀維護保養要求：1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動時，應托住底座，以防導軌變形。2、光學零件不用時，第三方計量檢測應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。6、計量檢測經過精密調(diao)整的儀(yi)器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不(bu)要擅(shan)自轉動。
激光干涉儀主要特點：1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角；2.設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器；3.可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米；4.第三方計量檢測可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性；5.全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架；6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間；7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等；8、計量檢測機構激(ji)光(guang)干涉(she)儀(yi)的光(guang)源——激(ji)光(guang)，具有高(gao)強度(du)、高(gao)度(du)方(fang)向性、空間同調(diao)性、窄帶寬和高(gao)度(du)單色性等優點(dian)；9、激(ji)光(guang)干涉(she)儀(yi)可配合各種折射鏡、反(fan)射鏡等來(lai)使(shi)用；
1.計量檢測操作人員應進行必要的技術培訓，取得上崗證書，熟悉儀器的使用說明書，了解工作性能、附件的作用及用法，嚴格按操作規程操作。2.儀器的使用環境如溫度、濕度、防磁埸、防震、防潮、防塵條件應符合規定要求。定期進行保養，如工作導軌工作面應上油，電器應定期通電等，防銹、防霉變措施正確。除儀器的專業維修人員外，任何人不得任意拆裝、調整，第三方計量檢測有封(feng)印(yin)的部(bu)位(wei)的封(feng)記不得破(po)(po)壞(huai)，以免破(po)(po)壞(huai)儀(yi)器(qi)的性(xing)能。儀(yi)器(qi)使用(yong)結束，對有可能影(ying)響儀(yi)器(qi)性(xing)能的部(bu)位(wei)如手接觸非油漆部(bu)位(wei)等進行必要的保養，切斷(duan)工作電源，做好交班記錄。
數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，計量檢測機構以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，第三方計量檢測由雙伺服驅動某(mou)一軸向運動的定位精度(du)，而且還能通過RS232接口，自動對兩(liang)軸線性誤差(cha)分別進行補償。
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